【招标结果】[BA202400527]等离子体增强化学气相沉积系统备案公示公告

[BA202400527]等离子体增强化学气相沉积系统备案公示公告
发布时间：2024-05-29 08:45:55
采购信息

项目编号	BA202400527	项目名称	等离子体增强化学气相沉积系统
经办人单位	物理学院	经办人	王鹏
预算金额	***.00 人民币	成交金额	***.00 人民币
成交供应商	长春市海涵仪器有限公司	质保期	12 月
联系地址	吉林省-长春市-二道区远达大街826号红星国际广场4栋1208室	采购单位	吉林大学超硬材料国家重点实验室
付款方式	设备安装调试验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13578704310	交货时间	成交单签订后30天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号 吉林大学 超硬实验综合楼
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：5人培训地点：吉林大学费用：免费

明细清单

采购品目	工业电热设备（电炉）	品牌名称	合肥科晶
名称	等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统	产地及生产商	中国-合肥科晶材料技术有限公司
规格型号	OTF-1200X-II-50-PE	数量	1
计量单位	套	保修年限	1 年
单价	***.00 人民币	总价	***.00 人民币
主要技术参数	主要配置包括：双温区管式炉，真空系统，供气系统，射频电源，手套箱 1. 双温区管式炉 1.1最高温度: 1200℃ 工作温度: 1100℃ 1.2 PID控制和自整定调节功能智能化30段可编程控制 1.3双层壳体结构并带有风冷系统 1.4总温区长度：400 mm2. 真空系统 2.1真空度：≥ 10-3 torr 2.2抽气速率：3L/s 2.3漏气率≤ 5x10-9 Pam3/s 3. 供气系统 3.1质量流量控制器精度：± 1.5 % FS3.2流量范围:一路 0-100 sccm，二路 0-200 sccm，三路及四路 0-500 sccm 4. 射频电源 4.1功率输出范围：0-500 W 4.2射频频率：13.56 MHz5. 手套箱 5.1箱体：SUS304 不锈钢，厚度 3mm 5.2主箱体尺寸：600 x 450 x 420 mm 5.3过度仓尺寸：直径210 x 长260 mm

信息咨询

吉林大学招标与备案(采购)管理中心	设       备       类：林老师:   0431-85167310 工       程       类：白老师:   0431-85167313 服务及其他货物：李老师:   0431-85167309